- ピエゾアクチューエータを内蔵しZ軸ストローク20μm を発生します。
- 窓口径は4インチ相当と6インチ相当をご用意。
- 変位センサー内蔵タイプはコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。
- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MV-20ZD4 | 20 | 0.1 | 400 | – | – |
| MV-20ZDS4 | 16 | 1 | 400 | – | ひずみゲージ |
| MV-20ZD6 | 20 | 0.1 | 400 | – | – |
| MV-20ZDS6 | 16 | 1 | 400 | – | ひずみゲージ |
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- ミリ秒高速応答・高精度位置分解能。
| 型式 | ストローク (μm) | 分解能 (nm) | 共振周波数 (Hz) | 剛性 (N/μm) | 内蔵センサ |
|---|---|---|---|---|---|
| MV-20ZD4 | 20 | 0.1 | 400 | – | – |
| MV-20ZDS4 | 16 | 1 | 400 | – | ひずみゲージ |
| MV-20ZD6 | 20 | 0.1 | 400 | – | – |
| MV-20ZDS6 | 16 | 1 | 400 | – | ひずみゲージ |